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高純氣路美國世偉洛克
提供半導(dǎo)體、微電子方面的超高純氣體輸送全面解決方案
高純輸送系統(tǒng)規(guī)劃與設(shè)計(jì)
設(shè)備及材料采購
高純輸送系統(tǒng)工程現(xiàn)場安裝施工
高純輸送系統(tǒng)測試、認(rèn)證
系統(tǒng)調(diào)試和啟動
普通氣體以及各種大宗氣體(氮、氧、氬、氦、氫、壓縮空氣)的輸送系統(tǒng)工藝設(shè)計(jì)氣站、特氣氣體房、純化器房、氣體品質(zhì)監(jiān)測系統(tǒng)、氣體控制系統(tǒng)、高純設(shè)備(純化器、壓力控制器、過濾器)、超高純氣體輸送管道系統(tǒng)的概念及詳細(xì)設(shè)計(jì),制造與現(xiàn)場安裝, 測試及開車調(diào)試
各種電子特種氣體輸送系統(tǒng)工藝設(shè)計(jì)
特氣房、氣瓶柜/架、分氣箱/盤,閥組、特氣管線(主管、二次配管)、氣體偵測系統(tǒng)等
真空設(shè)備至工藝設(shè)備的管道規(guī)劃和連接.