STP Maglev 真空分子渦輪泵

為了實(shí)現(xiàn)始終如一的可靠性能 和零維護(hù)，您每次都可以依賴于 Edwards 的 STP Maglev 渦輪分子泵 來(lái)實(shí)現(xiàn)。

我們的第一套 STP Maglev 渦輪分子泵于 1983 年售出，現(xiàn)在已經(jīng)在世界各地 安裝了 166,000 多套。其中的 85% 都運(yùn)行于半導(dǎo)體制程工具中， 表現(xiàn)出了卓越的性能級(jí)別和可靠性。  

對(duì)于需要長(zhǎng)時(shí)間正常運(yùn)行、無(wú)碳?xì)?化合物泵送、維護(hù)量少和低振動(dòng)的應(yīng)用， STP Maglev 渦輪分子泵是首選泵。轉(zhuǎn)子通過(guò)磁力軸承實(shí)現(xiàn)完全 懸浮，因此，消除了轉(zhuǎn)子與泵其余部分之間的 所有接觸。除振動(dòng)極低之外，消除接觸 還意味著轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí) 不會(huì)發(fā)生軸承接觸，也就無(wú)需對(duì)泵進(jìn)行后續(xù) 維護(hù)。 

產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的每個(gè)設(shè)計(jì)階段均 融合了節(jié)能技術(shù)，以確保降低 能耗和提升運(yùn)行效率，同時(shí)不損害 質(zhì)量和性能。

• 提高了生產(chǎn)效率：
  更快抽空到基準(zhǔn)壓力
• 體積緊湊： 
  節(jié)省空間并且易于安裝
• 低擁有 成本：
  低功耗和水電消耗
• 免維護(hù)： 
  經(jīng)濟(jì)